真空蒸着装置|製品情報|米国VAC社日本総代理店 山八物産株式会社

PRODUCTS 製品情報

真空蒸着装置 Vacuum Deposition System

細かなニーズに対応した、各種の真空蒸着装置を提供しています。
高機能・高性能・低価格を基本コンセプトとし、設計、製作、改造、スペックアップ、合体、連結等に対応します。

機能・特長

幅広いニーズに個別対応

各種実験・研究用、材料開発用、試作品評価、製造用等、各種用途の機種に幅広く対応します。
有機材料、無機材料(各種金属)、複合成膜等、ベース設計を元に複雑多岐なニーズを最大限実現した、オーダーメードによる対応が可能です。
また、既存品の改造やスペックアップ、グローブボックスへの合体や各種装置への連結等も承ります。

様々なタイプを提供

  • ・スタンドアローンタイプ
  • ・グローブボックス側面接続型、背面接続型、底面接続型(フラット構造、ベルジャー構造等各種)
  • ・グローブボックス内ベルジャー設置タイプ
  • ・複数工程対応型、インラインシステム、クラスタータイプ、連鎖タイプ
  • ・その他

各種コンポーネント選択や設計仕様により
自由度の高いシステム構築が可能

【蒸着チャンバー部】
  • ・単一チャンバー、有機・無機独立チャンバー、複合チャンバー、
    各種ベルジャー(SUS、ガラス)、ロードロック室、各種処理室の連結等
  • ・真空到達度:10-4~10-6 Pa
  • ・各種予備ポート付属
  • ・シャッター機構付覗き窓
  • ・側面開閉扉、前面開放扉、グローブボックス内部直結扉、予備室連結扉等
  • ・グローブボックス接続時基板搬送機構
【排気系】
  • ・ターボ分子ポンプ、拡散ポンプ、クライオポンプ、(各種排気速度対応)
  • ・プロセスイオンゲージ、圧力計、ピラニ真空計、電離真空計、等
【蒸発源系】
  • ・抵抗加熱式、EBガン、複合方式、レーザー式、その他
  • ・蒸発源: 単源 ~ 8源 ~ 16源 等各種対応可能
  • ・共蒸着: 2源同時、4源同時、その他
  • ・各種膜圧センサー、コントローラ対応
  • ・レートコントロール、多層膜制御、自動制膜機能
  • ・各種防着板、蒸発源間コンタミ防止用仕切板、等
  • ・蒸発源-蒸着電極ユニット構造、等
  • (グローブボックス内着脱および蒸着物セットアップ可能)
【基板系】
  • ・基板回転機構、基板冷却機構、基板加熱機構
  • ・自動基板シャッター、スライドシャッター、等
  • ・グローブボックス接続時基板搬送機構受渡用上下機構
  • ・基板サイズ各種対応(~, 100, 200, 300, 400, 〜mm)
  • ・マスク成膜、マスク交換機能、各種マスク設計製作

[a] 側面接続型,8源、共蒸着、有機無機複合型、基板回転・XY搬送機構、800L/s、他各種機構

[b] 側面接続型、有機6源、無機2源、共蒸着、有機無機複合型、基板回転・加熱・XY搬送機構、800L/s、他各種機構

[c] 側面接続型、有機無機独立2チャンバー、サブチャンバー、EBガン、低温セル、基板搬送機構、他各種機構

[d] グローブボックス内フラット構造底面接続型、蒸発源-蒸着電極ユニット構造(グローブボックス内着脱および蒸着物セットアップ可能)4源、共蒸着、有機無機複合型、基板冷却機能、他各種機構
グローブボックス外部アクセス / グローブボックス内部アクセス

[e] グローブボックス内ベルジャー型、5源、共蒸着、センサー6点、ベルジャー自動昇降機能、基板回転機構、他各種機構

[f] ゲート弁付ロードロック室側面接続型、UV照射、封止、塗布装置付属、他各種機構
[g] 側面接続型、EBガン・抵抗加熱両用タイプ、共蒸着、XYZステージ基板ホルダー、他各種機構

[h] 複数工程対応型OLED用システム / グローブボックス内全面アクセス / グローブボックス背面アクセス

[i] ガラスベルジャー付薄膜用システム
[j] 側面接続型,8源、共蒸着、有機無機複合型、基板回転・XY搬送機構、800L/s、他各種

各種タイプの設計、製作、改造、スペックアップ、合体、連結等に対応できますのでお問い合わせ下さい。

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