NEXUSガス循環精製システム（中型~大型タイプ）

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NEXUS Modular Purification System 《中型～大型モジュラータイプ》NEXUSガス循環精製システム

米国VAC社が提供する、NEXUS（ネクサス）ガス循環精製システムは、様々な容量のグローブボックスや密封容器等に対応可能であり、不活性ガス中の酸素濃度・水分濃度を1ppm未満に制御する能力を有する高純度不活性ガス循環精製システムです。^(*1)

機能・特長

各部をモジュール化

NEXUSガス循環精製システムは、4つの基本的なユニットから構成されています。
・コントロールモジュール
・精製モジュール
・ディスプレイモジュール
・真空ポンプ
これらを最適に組み合わせることにより、接続した様々な容量のグローブボックスや密封容器内のガス循環精製、雰囲気制御が可能になります。

各種ガス循環流量

1台のコントロールモジュールで70m³/h、140m³/h、210m³/h、280m³/hのガス循環流量に対応したシステム構成が可能です。また、各流量はコントロールモジュールによって調節可能です。

VAC105555-120-H

高性能ブロワー（オートブロワー機能付属）

静音タイプのNEXUS-PLC制御高流量インバータ式ブロワーを採用しています。
オプションの酸素濃度計・水分濃度計と連動し設定濃度を保持する最適効率流量（ブロワースピード）を常に算出して自動運転されます。

精製剤カラム全自動再生

飽和した精製剤カラムを全自動再生します。再生プログラムは、【標準再生サイクル】と【有機溶媒除去用再生サイクル】の2種類から選択設定できます。

省スペース設計、冷却不要

小型設計ですのでグローブボックスやパスボックスの下部等、省スペースに設置できます。コントロールモジュールと精製モジュールは独立して設置できます。精製モジュールは設置場所に応じた構成が可能ですので幅広い装置レイアウトが実現できます。
また、すべての機器を冷却不要の設計とし、酸素・水分の吸着も常温反応を実現していますのでチラーや冷却水等の設備は一切不要です。

各種セーフティー機能

内圧異常時に各バルブ閉止・真空ポンプ自動停止、バルブ開放不完全検知、ブロワーオーバーヒート防止機能、バルブ閉止不完全検知等、様々なセーフティー機能が装備されています。

VAC105555-40

NEXUS-PLCによるコントロールでシステムを一元管理

タッチパネル式ディスプレイ上の各種メニューを選択・設定することによりシステムの以下の機能が設定できると同時に、システムの状態を表示します。

・全自動内圧コントロール

接続したグローブボックスや密封容器内の圧力を、任意に設定した範囲内で自動制御し、設定値と実測値を液晶ディスプレイ上に表示します。

・各種オートパージコントロール

接続したグローブボックスや密封容器内の各種パージ（大気、有機溶媒、混入不純ガス等を不活性ガス等で置換）を自動設定できます。
●オートタイムパージ：パージ必要時間を任意に設定しグローブボックス内を完全自動パージ
●スマートパージ：酸素濃度計と連動し任意の酸素濃度に到達するまでグローブボックス内を完全自動パージ
●セーフパージ：グローブボックス内酸素濃度が設定値を超えた場合、設定値到達まで完全自動パージを開始

・アンティチャンバー（パスボックス等）コントロール

接続したグローブボックス等のアンティチャンバー部の真空引きからリフィールまでの全工程を時間、回数等を任意設定することにより全自動で行うことができます。

タッチパネル式ディスプレイ・精製モジュール・コントロールモジュール

（*1）諸条件により異なります。

仕様

型式	VAC105555-40	VAC105555-80-H(V)	VAC105555-120-H(V)	VAC105555-160-H(S)
本体寸法 W x D x H (mm) （突起部、配管部を除く）（H: Horizontalタイプ、V: Verticalタイプ）	815 x 550 x 665	H: 1555 x 550 x 665 V: 915 x 715 x 1650	H: 2290 x 550 x 665 V: 815 x 740 x 2240	H: 3030 x 550 x 665 S: 1525 x 740 x 1500
循環流量（m³/h）	70	140	210	280
酸素除去能力（1系統当り）（リットル）	20	40	60	80
水分除去能力（1系統当り）（グラム）	1200	2400	3600	4800
システム漏洩量（Leak Certification）	Helium leak check per ASTM 498 & ASTM 499 to 1 x 10^－6 ml/sec (1 x 10^－7 Pa・m³/sec)
循環ブロワー	インバータ式、サーモスイッチ内蔵、低ノイズ（静音タイプ）、冷却水およびチラー等不要、 UL, CSA規格認定品、最適効率流量コントロール、酸素濃度計・水分濃度計連動制御機能
精製剤カラム	2系統式、（銅触媒・モレキュラーシーブ）
精製能力	酸素濃度・水分濃度 1ppm未満2（2：一定以上の密封度が保証された適合容積内等の諸条件下による）
システムコントロール、モニター、操作部	Programmable Logic Controller（PLC）によるNEXUSⅡプログラムintegrated制御、タッチパネル式ディスプレイによる表示・選択・設定
全自動内圧コントロール	上下限値範囲内任意設定による全自動内圧コントロール、フットスイッチによるコントロール可能
セーフティー自動圧力コントロール	接続容器内陽圧・陰圧各種インターロック機能
精製剤カラム全自動再生工程管理	全自動再生　■標準再生サイクル（約12時間）　■有機溶媒除去用再生サイクル（約15時間）
その他コントロール機能	各種オートパージコントロール、アンティチャンバーコントロール、オートブロワー機能、他
使用可能封入・供給ガス	アルゴン、窒素、ヘリウム
電源	100-115V, 20～50A, 50/60Hz
適合安全規格	CSA Std. C22.2 No.1010.1, UL61010-1, CE