真空蒸着装置｜製品情報｜米国VAC社日本総代理店 山八物産株式会社

機能・特長

幅広いニーズに個別対応

各種実験・研究用、材料開発用、試作品評価、製造用等、各種用途の機種に幅広く対応します。
有機材料、無機材料（各種金属）、複合成膜等、ベース設計を元に複雑多岐なニーズを最大限実現した、オーダーメードによる対応が可能です。
また、既存品の改造やスペックアップ、グローブボックスへの合体や各種装置への連結等も承ります。

様々なタイプを提供

• ・スタンドアローンタイプ
• ・グローブボックス側面接続型、背面接続型、底面接続型（フラット構造、ベルジャー構造等各種）
• ・グローブボックス内ベルジャー設置タイプ
• ・複数工程対応型、インラインシステム、クラスタータイプ、連鎖タイプ
• ・その他

各種コンポーネント選択や設計仕様により
自由度の高いシステム構築が可能

【蒸着チャンバー部】

• ・単一チャンバー、有機・無機独立チャンバー、複合チャンバー、
  各種ベルジャー（SUS、ガラス）、ロードロック室、各種処理室の連結等
• ・真空到達度：10^-4～10^-6 Pa
• ・各種予備ポート付属
• ・シャッター機構付覗き窓
• ・側面開閉扉、前面開放扉、グローブボックス内部直結扉、予備室連結扉等
• ・グローブボックス接続時基板搬送機構

【排気系】

• ・ターボ分子ポンプ、拡散ポンプ、クライオポンプ、（各種排気速度対応）
• ・プロセスイオンゲージ、圧力計、ピラニ真空計、電離真空計、等

【蒸発源系】

• ・抵抗加熱式、EBガン、複合方式、レーザー式、その他
• ・蒸発源： 単源　～　8源　～　16源　等各種対応可能
• ・共蒸着： 2源同時、4源同時、その他
• ・各種膜圧センサー、コントローラ対応
• ・レートコントロール、多層膜制御、自動制膜機能
• ・各種防着板、蒸発源間コンタミ防止用仕切板、等
• ・蒸発源－蒸着電極ユニット構造、等
• （グローブボックス内着脱および蒸着物セットアップ可能）

【基板系】

• ・基板回転機構、基板冷却機構、基板加熱機構
• ・自動基板シャッター、スライドシャッター、等
• ・グローブボックス接続時基板搬送機構受渡用上下機構
• ・基板サイズ各種対応（～, 100, 200, 300, 400, 〜mm）
• ・マスク成膜、マスク交換機能、各種マスク設計製作

各種タイプの設計、製作、改造、スペックアップ、合体、連結等に対応できますのでお問い合わせ下さい。